• <span id="plhav"><optgroup id="plhav"></optgroup></span>

      1. <li id="plhav"></li>
        咨詢熱線

        13819825337

        當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章  >  半導(dǎo)體等離子去膠機產(chǎn)品原理與結(jié)構(gòu)分享

        半導(dǎo)體等離子去膠機產(chǎn)品原理與結(jié)構(gòu)分享

        更新時間:2025-06-23      點擊次數(shù):672
          半導(dǎo)體等離子去膠機是利用等離子體技術(shù)去除半導(dǎo)體制造過程中光刻膠的專用設(shè)備。其核心原理是通過等離子體中的高能粒子與光刻膠發(fā)生物理或化學(xué)作用,實現(xiàn)高效、精準(zhǔn)的膠層去除。
          一、半導(dǎo)體等離子去膠機產(chǎn)品原理:
          1.等離子體生成機制
          氣體輝光放電:
          在真空腔體內(nèi)通入工藝氣體,通過高頻電場(RF射頻或微波)激發(fā)氣體電離,形成等離子體。
          等離子體組成:包含高能電子、離子、自由基、紫外光子和中性分子。
          2.去膠機理
          物理作用:
          高能粒子(如離子)轟擊光刻膠表面,通過物理濺射破壞膠分子結(jié)構(gòu),適用于厚膠層或硬質(zhì)光刻膠。
          化學(xué)作用:
          自由基或活性離子與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng),分解膠分子為揮發(fā)性物質(zhì),適用于高精度圖形或復(fù)雜材料。
          3.選擇性去除
          通過調(diào)節(jié)氣體種類、功率、處理時間及腔體壓力,實現(xiàn)對不同光刻膠(正膠/負膠)或底層材料(如硅、金屬)的選擇性去除,避免損傷襯底。
          二、半導(dǎo)體等離子去膠機產(chǎn)品結(jié)構(gòu):
          1.核心組件
          真空腔體:
          不銹鋼或鋁合金材質(zhì),用于維持反應(yīng)環(huán)境;
          配備觀察窗(石英或耐蝕玻璃)以便實時監(jiān)控。
          氣體分配系統(tǒng):
          質(zhì)量流量控制器(MFC):精確調(diào)節(jié)工藝氣體流量;
          進氣口與排氣口:確保氣體均勻分布并快速排出反應(yīng)產(chǎn)物。
          射頻(RF)電源:
          提供高頻電場,激發(fā)氣體產(chǎn)生等離子體;
          功率可調(diào),控制等離子體密度和能量。
          電極結(jié)構(gòu):
          電容耦合式(CCP):上下電極板間形成電場,適合大面積均勻處理;
          感應(yīng)耦合式(ICP):螺旋線圈產(chǎn)生高密度等離子體,用于復(fù)雜圖形或深孔結(jié)構(gòu)。
          樣品臺:
          靜電吸附或機械固定晶圓;
          可旋轉(zhuǎn)或傾斜,確保等離子體均勻覆蓋。
          2.輔助系統(tǒng)
          真空系統(tǒng):
          機械泵+分子泵組,實現(xiàn)腔體真空度≤10Pa;
          壓力傳感器實時監(jiān)控并反饋控制。
          冷卻系統(tǒng):
          水冷電極和腔體,防止高溫損傷設(shè)備或樣品;
          部分機型配備樣品冷卻臺,避免過熱導(dǎo)致襯底損傷。
          控制系統(tǒng):
          觸摸屏或PC端界面,設(shè)置參數(shù)(氣體流量、功率、時間、壓力);
          數(shù)據(jù)記錄與追溯功能,支持Recipe配方存儲。
          3.安全與環(huán)保設(shè)計
          防護措施:
          緊急停機按鈕、過載保護、氣體泄漏報警;
          腔體啟閉聯(lián)鎖,防止誤操作。
          廢氣處理:
          集成噴淋塔或活性炭過濾裝置,處理反應(yīng)產(chǎn)生的腐蝕性氣體。
         

         

        • 公司地址:浙江省寧波市海曙區(qū)氣象路827號
        • 公司郵箱:215398148@qq.com
        • 公司傳真:0574-28820083
        0574-28820083

        銷售熱線

        在線咨詢
        Copyright © 2025 寧波普瑞思儀器科技有限公司版權(quán)所有   備案號:浙ICP備17013722號-4    sitemap.xml    技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)   管理登陸
        主站蜘蛛池模板: 天天爽天天狠久久久综合麻豆| 色综合天天做天天爱| 亚洲 欧美 综合 高清 在线| 中文网丁香综合网| 狠狠激情五月综合婷婷俺| 99热婷婷国产精品综合| 99久久婷婷免费国产综合精品| 色婷婷综合久久久久中文| 久久狠狠一本精品综合网| 久久综合九色综合网站| 综合在线免费视频 | 久久99国产综合精品女同| 丁香五月亚洲综合深深爱| 久久九色综合九色99伊人| 国产成人综合洲欧美在线| 久久综合国产乱子伦精品免费| 亚洲色偷偷狠狠综合网| 久久93精品国产91久久综合| 成人综合久久精品色婷婷| 色久综合网精品一区二区| 激情综合色综合啪啪开心| 久久综合狠狠综合久久| 久久久久噜噜噜亚洲熟女综合| 欧美日韩国产综合视频在线观看| 久久久久亚洲AV综合波多野结衣 | 久久综合色老色| 色噜噜狠狠色综合日日| 国产综合精品久久亚洲| 狠狠综合久久综合88亚洲| 国产欧美日韩综合一区在线播放 | 国产成人人综合亚洲欧美丁香花| 狠狠色婷婷七月色综合| 女人和拘做受全程看视频日本综合a一区二区视频 | 天堂久久天堂AV色综合| 日韩亚洲国产综合久久久| 狠狠色丁香婷婷久久综合不卡| 亚洲综合中文字幕无线码| 久久久久噜噜噜亚洲熟女综合| 综合久久久久久中文字幕亚洲国产国产综合一区首| 亚洲 欧美 日韩 综合aⅴ视频 | 狠狠人妻久久久久久综合|